高端晶圆处理设备产业化创新路项目(沈阳芯源微电子设备股份有限公司)
大型项目

项目地区中国内地辽宁省沈阳市浑南新区(原东陵区)创新路北沈本大街东—1地块
总投资额(百万)289
占地面积(m2)30635
建筑面积(m2)29700
完工时间2026